過程氣體監(jiān)測儀“Qulee CGM2-101/102"發(fā)布公告

注意

2024 年 12 月 12 日

我們謹通知您，我們已開始銷售以下產(chǎn)品。
我們期待您繼續(xù)支持我們公司和 ULVAC 產(chǎn)品。

新產(chǎn)品

過程氣體監(jiān)測儀 Qulee CGM2-101/102

最新資訊 ULVAC愛發(fā)科過程氣體監(jiān)測儀Qulee CGM2-102發(fā)布公告

特征

Qulee CGM2系列增加了可測量1至100 amu質(zhì)量數(shù)的新型號，該型號與濺射設(shè)備兼容。除了監(jiān)測空氣泄漏和殘留水分外，現(xiàn)在還可以測量制冷劑泄漏、滑動部件上的油脂、碳氫化合物、清潔液殘留物等。隨著產(chǎn)品陣容的增加，現(xiàn)在可以根據(jù)客戶的需求進行選擇。

半導體

物聯(lián)網(wǎng)/智能社會已經(jīng)到來！在電子器件制造過程中引入工藝氣體監(jiān)測儀的幾個原因

物聯(lián)網(wǎng)和智能社會5G環(huán)境下
重要且不可少的電子設(shè)備

例如····

讓我們考慮一下電子設(shè)備之間的關(guān)鍵詞“通信"。隨著頻段從3G（800MHz~）到4G（2.4GHz）再到5G（3.7-4.5GHz、28GHz）的變化，SAW器件和晶體諧振器所需的附加值每次都在增加。例如，濺射設(shè)備對于形成該器件的叉指電極（IDT）至關(guān)重要，并且在此過程中管理殘余水分（H2O）和碳氫化合物也很重要。

支持低碳社會的重要且
不可少的電子設(shè)備

例如····

讓我們使用關(guān)鍵字“電源設(shè)備"來考慮一下。功率器件需要高速、效率地控制和供電，例如將交流電轉(zhuǎn)換為直流電或轉(zhuǎn)換交流電的頻率。

例如，該裝置中的源極電極和背面電極的形成需要使用蒸鍍裝置或濺射裝置進行成膜，因此檢查泄漏和管理工藝氣體中的雜質(zhì)污染是很重要的。

例如，為了在該裝置中形成絕緣膜，使用CVD裝置來沉積SiO 2 ，并且使用蝕刻裝置來處理SiO 2 。檢查這些設(shè)備的清潔端點非常重要。

作為制造電子元件的關(guān)鍵，真空設(shè)備在使用過程中
是否遇到任何問題？

例如，我們經(jīng)常從我們的制造商（我們的客戶）那里聽到這樣的事情。

1.　我擔心有缺陷的產(chǎn)品會流失到市場上。

2.　灰批/灰晶圓怎么樣？

3.　產(chǎn)量沒有增加...

4、　設(shè)備停機率高如何解決？

此外，在不斷發(fā)展的物聯(lián)網(wǎng)社會中，對進一步質(zhì)量改進和質(zhì)量控制的要求將變得越來越嚴格。

1. 各種器件的進一步集成化/小型化

2、客戶質(zhì)量保證要求提高

3、提高最終產(chǎn)品的規(guī)格要求

智能社會的到來不僅需要電子設(shè)備的功能，還需要質(zhì)量控制的顯著改進。

現(xiàn)在可以說，我們必須克服這些挑戰(zhàn)才能走向未來。

然而，如果你反過來想，如果你能用未來的電子設(shè)備克服這些挑戰(zhàn)，你將能夠比競爭對手的產(chǎn)品獲得顯著的競爭優(yōu)勢。

通過減少提高質(zhì)量所需的工時和時間，可以花費時間和成本來開發(fā)功能更強大的電子設(shè)備。

因此，我們ULVAC想推薦ULVAC的工藝氣體監(jiān)測儀“Qulee"系列。通過在制造過程中引入工藝氣體監(jiān)測儀“Qulee"，我們將進一步提高電子器件制造過程的質(zhì)量。

ULVAC 是世界上綜合性真空制造商。

我們不僅開發(fā)用于制造電子設(shè)備的設(shè)備，還制造通過與該設(shè)備相結(jié)合的協(xié)同效應在電子設(shè)備制造過程中進行質(zhì)量控制的組件。

這是只有在真空產(chǎn)生、真空測量和真空技術(shù)方面擁有豐富知識的綜合制造商 ULVAC 才能提供的解決方案。

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