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更新時(shí)間：2025-11-06 
瀏覽次數(shù)：58根據(jù)您提供的信息，EBARA（荏原）ESA15-D 是一款專為抽取氫氣等輕氣體及滿足大容量室快速抽氣需求設(shè)計(jì)的干式真空泵?12。以下是從參考信息中整理的關(guān)鍵信息：
?應(yīng)用場景?：特別適合用于 MO-CVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）等需要大流量抽取輕氣體（如氫氣）的工藝，也適用于 LCD 濺射設(shè)備、真空干燥過程和大負(fù)載鎖定應(yīng)用?1。
?設(shè)計(jì)優(yōu)勢?：對于抽氣速度在 10,000 L/min 及以下的型號，采用了緊湊化設(shè)計(jì)，并提供了耐腐蝕材料的選項(xiàng)，有助于減少設(shè)備占地面積和增強(qiáng)耐用性?12。
?技術(shù)規(guī)格?：屬于 ESA 系列，該系列包括抽氣速度從 1,400 到 10,000 L/min 的型號，以及排氣速度從 20,000 到 80,000 L/min 的型號，以滿足不同需求?1。
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